作者bbdd203 (云飞‧克劳德)
看板NEMS
标题Re: [问题] 用正光阻LIFT OFF
时间Thu Apr 11 00:07:44 2013
刚好小的最近也是在做这些
用正光阻AZ4620 LIFT-OFF 约 20 MICRON线宽
光阻涂厚一点 用软片光罩的话要多加一点曝光时间 因为软片光罩不是玻璃光罩
透光率大概9成多 很容易多留一层很薄很薄的光阻去不掉
所以通常我用软片光罩做时就不会硬考 不然这一层根本显不开
然後光阻弄厚点 最好镀的东西大概10:1厚 比较好拉 比较不会毛边
光阻弄厚还有一个好处 可以用O2 PLASMA打一下 去除要显开的却没显乾净的
这样很好振洗 在振洗时没要LIFT OFF的地方会留得很漂亮
其实也要看你镀的金属根底材有没有好的接触性 我以前做过AU上在SI做LIFT OFF
泡到水就飘起来了....不过这是题外话...
如果接触性好的话 振洗还会跑起来 那大概就是你光阻没显开
还留有一层很薄OM看不出来的 去给O2 PLASMA打一下吧
※ 引述《bb0303 (ZZZ)》之铭言：
: 抱歉又上来问问题
: 因为目前只能使用正光阻去做黄光 (不然我也想用负光阻阿...)
: 而小弟遇到的问题是
: 上光阻→镀完金属→发现有个地方lift off 不掉
: 线宽大约20um
: 很明显是整个被金属覆盖住
: 想请问有没有甚麽办法可以lift off 掉阿
: 原本小弟是想在上面划一刀好让光阻流进去，但这想法实在太天真，因为根本太小...
: 我有震洗过...震洗结果是其他地方金属有盖率被震洗掉，
: 现在很懊恼 请求有经验的版友可以提供意见让我试试看
: 感谢大家的回答 如果需要甚麽补充我会再补充 感谢
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1F：推 LittleBlue21:请问O2 plasma打的时机是在显影前吗? 还有为什麽要厚 04/11 01:09
2F：→ LittleBlue21:光阻呢? 如果金属结构设计要薄一点就不能打了吗? 04/11 01:10
3F：→ LittleBlue21:更正,应该说结构高度要低一点的话 04/11 01:11