作者qaz790601 (G阿傑G)
看板NEMS
標題[問題] 光阻塗佈PDMS的問題!
時間Mon Mar 25 17:02:51 2013
小弟目前研究是研究反向壓印製程。
要使用光阻塗佈在PDSM上面然後在壓印在Sapphire上面，
形成圖案化藍寶石基板，但現在光阻塗佈在PDMS上面都塗佈的不太好，
我看了一些文獻，文獻上說施打氧電漿能讓表面變成親水性，
請問:變成親水性真的能讓光阻塗佈的比較完整嗎?
還是有可能有其他因素。
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◆ From: 140.135.97.171
1F：推 jeffdon2:打完氧電漿後盡快塗佈光阻，不然等改質效果退了就沒用了 03/25 18:41
2F：推 liliihana:打完電漿後，盡量保持表面乾淨，效用可以延長一點 03/26 00:43