作者qaz790601 (G阿杰G)
看板NEMS
标题[问题] 光阻涂布PDMS的问题!
时间Mon Mar 25 17:02:51 2013
小弟目前研究是研究反向压印制程。
要使用光阻涂布在PDSM上面然後在压印在Sapphire上面，
形成图案化蓝宝石基板，但现在光阻涂布在PDMS上面都涂布的不太好，
我看了一些文献，文献上说施打氧电浆能让表面变成亲水性，
请问:变成亲水性真的能让光阻涂布的比较完整吗?
还是有可能有其他因素。
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◆ From: 140.135.97.171
1F：推 jeffdon2:打完氧电浆後尽快涂布光阻，不然等改质效果退了就没用了 03/25 18:41
2F：推 liliihana:打完电浆後，尽量保持表面乾净，效用可以延长一点 03/26 00:43