作者tingyu1027 (tingyu1027)
看板NEMS
標題[問題] 請問有free HF 的 isotopic wet etching Si溶液配方嗎
時間Fri Mar 22 13:55:41 2013
想請問大家， 一般wet Si用HNA 溶液達到isotropic.
請問有辦法或什麼溶液不用到HF也可以
wet etching So 嗎？？
謝謝大家不吝指教
--
※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 110.26.142.248
1F：推 Jinuse:HF-free 03/22 22:13
2F：→ TSMCMTK:怕死後 NaOH加熱也可以 03/23 00:47