作者tingyu1027 (tingyu1027)
看板NEMS
标题[问题] 请问有free HF 的 isotopic wet etching Si溶液配方吗
时间Fri Mar 22 13:55:41 2013
想请问大家， 一般wet Si用HNA 溶液达到isotropic.
请问有办法或什麽溶液不用到HF也可以
wet etching So 吗？？
谢谢大家不吝指教
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 110.26.142.248
1F：推 Jinuse:HF-free 03/22 22:13
2F：→ TSMCMTK:怕死後 NaOH加热也可以 03/23 00:47