作者questing (question)
看板NEMS
標題[問題] HF wet etch 會吃金屬??
時間Sun Mar 17 20:11:58 2013
最近小第實驗上會使用到Wet etch 的東西
鍍好的Ti-5 + Au-70nm
在泡入BOE 時, 金屬會飄走~~
網路怎樣找都沒有很多這方向資料..
BOE 會吃 Ti 嗎??
希望有經驗的同學能幫我
Thanks
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 61.231.65.103
1F：推 jeffdon2:當然會啊，市售的Ti蝕刻液成分就有HF 03/17 20:33
2F：→ jeffdon2:如果蝕刻過程中沒有加溫的話，Ti還可以撐比較久 03/17 20:34
3F：→ jeffdon2:如果有加溫只會掉更快 03/17 20:36
4F：推 bbdd203:原PO私信我 我可以給你濕蝕刻萬用表 但是禮拜一以後 03/31 03:32
5F：→ bbdd203:才能給 我才會在實驗室XD 03/31 03:32