作者questing (question)
看板NEMS
标题[问题] HF wet etch 会吃金属??
时间Sun Mar 17 20:11:58 2013
最近小第实验上会使用到Wet etch 的东西
镀好的Ti-5 + Au-70nm
在泡入BOE 时, 金属会飘走~~
网路怎样找都没有很多这方向资料..
BOE 会吃 Ti 吗??
希望有经验的同学能帮我
Thanks
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 61.231.65.103
1F：推 jeffdon2:当然会啊，市售的Ti蚀刻液成分就有HF 03/17 20:33
2F：→ jeffdon2:如果蚀刻过程中没有加温的话，Ti还可以撑比较久 03/17 20:34
3F：→ jeffdon2:如果有加温只会掉更快 03/17 20:36
4F：推 bbdd203:原PO私信我 我可以给你湿蚀刻万用表 但是礼拜一以後 03/31 03:32
5F：→ bbdd203:才能给 我才会在实验室XD 03/31 03:32