作者SkyLark2001 ( )
看板NEMS
標題Re: [問題] 負型光阻一問
時間Wed Mar 13 12:13:53 2013
※ 引述《tengyuan (tengyuan)》之銘言：
: 標題: [問題] 負型光阻一問
: 時間: Mon Mar 11 12:08:41 2013
: 推 LittleBlue21:請問過曝是指曝太久能量太強嗎?那為什麼pattern不見 03/11 18:15
: → LittleBlue21:會是過曝呢?不是應該是能量不夠嗎??? 03/11 18:16
: → LittleBlue21:因為我也是有pattern不見的問題... 03/11 18:16
: 推 LittleBlue21:那請問S大,如果我的大size pattern還在(約幾百micron 03/12 20:33
: → LittleBlue21:但小的pattern(約10 micron或更小)不見了,是不是過顯 03/12 20:35
: → LittleBlue21:因為顯影前還隱約可看見小pattern 03/12 20:36
: → LittleBlue21:之前pattern不見以為是能量不夠,因此一直加曝光時間 03/12 20:37
: → LittleBlue21:後來顯影前才終於可見小pattern,但顯完又不見了... 03/12 20:38
: 推 LittleBlue21:還是我的也是過曝呢?不過我可以改變的只有曝光時間 03/12 20:44
: 推 LittleBlue21:SU8 3035稀釋光阻 SiO2基板,我的顯影時間有減少了 03/13 08:41
: → LittleBlue21:那是學長留下來的數據,稀釋完大約在3005跟3010中間 03/13 08:43
: → LittleBlue21:t大我的寬的pattern很好顯,但小的顯完就不見了,我有 03/13 08:45
: → LittleBlue21:用OM看過卻找不到,而顯影前肉眼可以勉前看到小點 03/13 08:46
: 推 LittleBlue21:小的pattern是應該要留下來(透光的),但是看起來沒有 03/13 10:02
可能性有
1. 你的小pattern有可能因為跟SiO2附著力不足，所以在顯影過程中被沖走了
2. 曝光量不足。pattern底端未完全crosslink。顯影時遇到顯影液就被溶掉了
建議你先從增加曝光時間開始
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本球隊一切依法行政，謝謝指教。
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◆ From: 76.22.72.248
1F：→ LittleBlue21:知道了 感激不盡~ 03/13 12:17