作者SkyLark2001 ( )
看板NEMS
标题Re: [问题] 负型光阻一问
时间Wed Mar 13 12:13:53 2013
※ 引述《tengyuan (tengyuan)》之铭言：
: 标题: [问题] 负型光阻一问
: 时间: Mon Mar 11 12:08:41 2013
: 推 LittleBlue21:请问过曝是指曝太久能量太强吗?那为什麽pattern不见 03/11 18:15
: → LittleBlue21:会是过曝呢?不是应该是能量不够吗??? 03/11 18:16
: → LittleBlue21:因为我也是有pattern不见的问题... 03/11 18:16
: 推 LittleBlue21:那请问S大,如果我的大size pattern还在(约几百micron 03/12 20:33
: → LittleBlue21:但小的pattern(约10 micron或更小)不见了,是不是过显 03/12 20:35
: → LittleBlue21:因为显影前还隐约可看见小pattern 03/12 20:36
: → LittleBlue21:之前pattern不见以为是能量不够,因此一直加曝光时间 03/12 20:37
: → LittleBlue21:後来显影前才终於可见小pattern,但显完又不见了... 03/12 20:38
: 推 LittleBlue21:还是我的也是过曝呢?不过我可以改变的只有曝光时间 03/12 20:44
: 推 LittleBlue21:SU8 3035稀释光阻 SiO2基板,我的显影时间有减少了 03/13 08:41
: → LittleBlue21:那是学长留下来的数据,稀释完大约在3005跟3010中间 03/13 08:43
: → LittleBlue21:t大我的宽的pattern很好显,但小的显完就不见了,我有 03/13 08:45
: → LittleBlue21:用OM看过却找不到,而显影前肉眼可以勉前看到小点 03/13 08:46
: 推 LittleBlue21:小的pattern是应该要留下来(透光的),但是看起来没有 03/13 10:02
可能性有
1. 你的小pattern有可能因为跟SiO2附着力不足，所以在显影过程中被冲走了
2. 曝光量不足。pattern底端未完全crosslink。显影时遇到显影液就被溶掉了
建议你先从增加曝光时间开始
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本球队一切依法行政，谢谢指教。
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 76.22.72.248
1F：→ LittleBlue21:知道了 感激不尽~ 03/13 12:17