作者CC0303 (\宅宅/ \宅宅/)
看板NEMS
標題[問題] 曝光第二層問題
時間Tue Mar 12 14:52:54 2013
各位版友前輩好
小弟我今天圖層第一層已經做好了
我要曝第二層時發現了一個很大的問題
因為我的光罩上有很多一樣的圖形
但其中一個圖形的alignment key 對準後
其他的圖形的就對不準...不知道有沒有前輩也遇過這種問題
是哪邊需要改進 麻煩請指導 感謝
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 140.117.165.40
1F：推 SkyLark2001:哪一台曝光機？找對準記號的時候調整過theta了嗎？ 03/13 03:36
2F：→ CC0303:哪一台我不知道欸 中山奈米實驗室的 theta? 03/13 16:25
3F：→ CC0303:x照理說一個圖案準確 其他的應該會跟著對準阿 ~_~ 03/13 16:25
4F：推 SkyLark2001:對準都是要調整x, y 跟 theta 不是嗎？ 03/14 17:45
5F：推 bbdd203:大概的SCALE是多少? 會不會是PROCESS WINDOW造成的? 03/31 11:43