作者tearn (tearn)
看板NEMS
標題[問題]請問關於ECR-CVD之反射功率問題
時間Thu Feb 28 11:17:47 2013
請問各位大大們~
我的ECR-CVD是用來成長碳的~
但反射功率近期常常不知道為什麼飆升~
有什麼因素會影響到反射功率的呢？
每次只要清完管後，自然反射功率就會再降下來~
曾懷疑過一個可能性…就是我的石英管~
但想不出什麼合理的解釋來解釋石英管影響的
有時候反而比較乾淨的石英管好像反射功率很容易飆高~
請求大大們是不是有遇過相關的問題？
如何解決？
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