作者tearn (tearn)
看板NEMS
标题[问题]请问关於ECR-CVD之反射功率问题
时间Thu Feb 28 11:17:47 2013
请问各位大大们~
我的ECR-CVD是用来成长碳的~
但反射功率近期常常不知道为什麽飙升~
有什麽因素会影响到反射功率的呢？
每次只要清完管後，自然反射功率就会再降下来~
曾怀疑过一个可能性…就是我的石英管~
但想不出什麽合理的解释来解释石英管影响的
有时候反而比较乾净的石英管好像反射功率很容易飙高~
请求大大们是不是有遇过相关的问题？
如何解决？
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