作者threedices (三顆骰子)
看板NEMS
標題[問題] thermal oxide SiO2/Si基板
時間Fri Feb 8 06:33:05 2013
最近想找少量的 thermal SiO2 on Si wafer
但厚度要 3 micron以上,
不知道有沒有建議哪裡有廠商可能有現貨的
還是都要特別order?
謝謝
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 142.244.152.245
1F：→ leox243:3um的thermal oxide!!!這會貴到哭出來吧 02/08 23:37
2F：→ yasuhiro:自己長還比較便宜..... 02/14 03:26
3F：→ threedices:目前決定大概弄1um thermal..再用PECVD加 02/15 06:55
4F：→ threedices:3um沒錯太貴了.. 02/15 06:56