作者threedices (三颗骰子)
看板NEMS
标题[问题] thermal oxide SiO2/Si基板
时间Fri Feb 8 06:33:05 2013
最近想找少量的 thermal SiO2 on Si wafer
但厚度要 3 micron以上,
不知道有没有建议哪里有厂商可能有现货的
还是都要特别order?
谢谢
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 142.244.152.245
1F：→ leox243:3um的thermal oxide!!!这会贵到哭出来吧 02/08 23:37
2F：→ yasuhiro:自己长还比较便宜..... 02/14 03:26
3F：→ threedices:目前决定大概弄1um thermal..再用PECVD加 02/15 06:55
4F：→ threedices:3um没错太贵了.. 02/15 06:56