作者liliihana (花仔*)
看板NEMS
標題[問題] 蒸鍍相關問題
時間Thu Feb 7 17:47:15 2013
目前正在做lift-off製程
玻璃有利用丙酮，酒精，異丙醇，DI水，烤乾等清洗過
先用黃光做完結構之後(最小線寬10um)，再蒸鍍Cr、Au或Ti、Au
光阻是用AZ1518
請問蒸鍍之後需要擱置一段時間才能浸泡丙酮嗎?
我一泡入丙酮整片金就脫落了...@@
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◆ From: 140.120.106.184
1F：推 Ice98:Cr/Au厚度? 02/07 20:05
2F：→ liliihana:Cr:40nm Au:50nm 02/07 21:52
3F：推 Jinuse:顯影沒顯乾淨也會有類似結果唷 02/08 06:51
4F：推 Ice98:唯一想得到的也是顯影不乾淨 02/09 14:55
5F：推 Mariano42:可以的話 加一層Ta 會附著好多 02/13 02:57
6F：推 yasuhiro:推顯影不乾淨 02/14 03:27
7F：→ yasuhiro:用負光阻做做看 也許就成功了 02/14 03:32
8F：→ conery:顯影沒有顯乾淨 03/07 15:02