作者liliihana (花仔*)
看板NEMS
标题[问题] 蒸镀相关问题
时间Thu Feb 7 17:47:15 2013
目前正在做lift-off制程
玻璃有利用丙酮，酒精，异丙醇，DI水，烤乾等清洗过
先用黄光做完结构之後(最小线宽10um)，再蒸镀Cr、Au或Ti、Au
光阻是用AZ1518
请问蒸镀之後需要搁置一段时间才能浸泡丙酮吗?
我一泡入丙酮整片金就脱落了...@@
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 140.120.106.184
1F：推 Ice98:Cr/Au厚度? 02/07 20:05
2F：→ liliihana:Cr:40nm Au:50nm 02/07 21:52
3F：推 Jinuse:显影没显乾净也会有类似结果唷 02/08 06:51
4F：推 Ice98:唯一想得到的也是显影不乾净 02/09 14:55
5F：推 Mariano42:可以的话 加一层Ta 会附着好多 02/13 02:57
6F：推 yasuhiro:推显影不乾净 02/14 03:27
7F：→ yasuhiro:用负光阻做做看 也许就成功了 02/14 03:32
8F：→ conery:显影没有显乾净 03/07 15:02