作者Gawn (KK)
看板NEMS
標題[問題] 膠片光罩接觸模式及曝光時間
時間Thu Jan 24 22:21:05 2013
我將膠片光罩貼在玻璃底部，
只用膠帶貼四周，中間沒法貼也不能用膠水，不然會影響中間圖形
膠片是軟的，
我在想如果contact mode 是用vaccum的話，
膠片會不會被吸向wafer，
造成膠片彎曲及膠片跟玻璃懸空，
不知是否有這樣的疑慮?
另外，膠片光罩的透光性會不會比玻璃光罩差，
是否要增加曝光時間?
謝謝。
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 140.115.31.129
1F：推 Jinuse:第一個只要貼得夠好應該還好 第二個本來就會增加50%之類的 01/24 22:51
2F：→ Gawn:謝謝 :) 01/25 10:50
3F：推 tony32100:中間用酒精(甲醇),增加附著性吧 07/30 11:33