作者Gawn (KK)
看板NEMS
标题[问题] 胶片光罩接触模式及曝光时间
时间Thu Jan 24 22:21:05 2013
我将胶片光罩贴在玻璃底部，
只用胶带贴四周，中间没法贴也不能用胶水，不然会影响中间图形
胶片是软的，
我在想如果contact mode 是用vaccum的话，
胶片会不会被吸向wafer，
造成胶片弯曲及胶片跟玻璃悬空，
不知是否有这样的疑虑?
另外，胶片光罩的透光性会不会比玻璃光罩差，
是否要增加曝光时间?
谢谢。
--
※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 140.115.31.129
1F：推 Jinuse:第一个只要贴得够好应该还好 第二个本来就会增加50%之类的 01/24 22:51
2F：→ Gawn:谢谢 :) 01/25 10:50
3F：推 tony32100:中间用酒精(甲醇),增加附着性吧 07/30 11:33