作者Rappy ()
看板NEMS
標題[問題] 如何去除ZEP-520A-7這隻光阻
時間Thu Jan 17 22:17:00 2013
最近在做E-beam writing時
發現想去除經軟烤但未經曝光的ZEP-520A-7這隻光阻非常困難
常常有時候對旋塗後的結果不滿意 卻不知道該如何去除光阻
而且令我納悶的是長完金屬後lift off又很容易
因為對這隻光阻的特性不是很了解
所以想請教版上的專家 討論看看有沒有辦法解決我的困難
非常謝謝!!!
--
有時候委曲求全不是因為還愛著
而只是因為不甘心............
--
※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 220.128.231.235