作者Rappy ()
看板NEMS
标题[问题] 如何去除ZEP-520A-7这只光阻
时间Thu Jan 17 22:17:00 2013
最近在做E-beam writing时
发现想去除经软烤但未经曝光的ZEP-520A-7这只光阻非常困难
常常有时候对旋涂後的结果不满意 却不知道该如何去除光阻
而且令我纳闷的是长完金属後lift off又很容易
因为对这只光阻的特性不是很了解
所以想请教版上的专家 讨论看看有没有办法解决我的困难
非常谢谢!!!
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有时候委曲求全不是因为还爱着
而只是因为不甘心............
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