作者liliihana (花仔*)
看板NEMS
標題[問題] lift-off 問題
時間Fri Jan 11 13:08:35 2013
我想要在載玻片上製作微電極，結構最小尺寸為10um，結構之間的間隙是20um
目前使用光阻AZ1518做完黃光之後，厚度約為1點多um，光罩是膠片光罩
用蒸鍍鍍上 Ti:70nm，Au:50nm
之後放入丙酮lift-off
lift-off浸泡一天之後，要去除的部分都會變成皺皺的，但是沒有脫落
我會用針筒抽丙酮去沖他 (超音波震洗會讓結構破裂)
但是最小尺寸的部分還是沒辦法lift-off成功，
懇請版上有經驗的大大分享一下經驗
--
※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 140.120.106.184
1F：推 Jeffch:why not amine based solvent, like EKC830 or AZ100? 01/11 17:24
2F：推 blueseas:AZ4620丙酮很好去除，馬上沖馬上掉 01/11 23:03
3F：推 Colula:週期很寬，鍍金很薄，AZ4620就可 01/12 11:18
4F：→ SkyLark2001:玻璃雖然不比矽晶圓，但你用Cr or Ti當黏著層，沒問題 01/14 18:29
5F：→ SkyLark2001:的話用超音波震洗不會掉／ 01/14 18:30
6F：→ SkyLark2001:所以你問題有二，第一是玻璃基板沒洗乾淨，第二是黃光 01/14 18:30
7F：→ SkyLark2001:沒做好，玻璃基板的黃光其實很難，用矽基板的參數去做 01/14 18:31
8F：→ SkyLark2001:玻璃基板，基本上很難做出來，做得出來的運氣都很好 01/14 18:31
9F：推 Jeffch:同意樓上，剛拆封的載玻片其實比想像中來得髒很多。尤其有 01/15 00:59
10F：→ Jeffch:很多有機物殘留 01/15 00:59
11F：→ liliihana:除了把載玻片清洗乾淨外，黃光的部分還有什麼可以改善的 01/15 11:35
12F：→ liliihana:嗎? 謝謝大大分享 01/15 11:35
13F：推 SkyLark2001:黃光是大哉問。玻璃基板的話軟烤時間以及曝光量都有可 01/15 16:28
14F：→ SkyLark2001:能要改。我建議你先用丙酮IPA震洗吹乾你的基板。然後 01/15 16:29
15F：→ SkyLark2001:再鍍一次。其中準備一片洗乾淨但不上黃光的對照。 01/15 16:30
16F：→ SkyLark2001:若不上黃光的那個鍍後拿去震洗一到三分鐘內不會掉但是 01/15 16:31
17F：→ SkyLark2001:其他有做黃光的會，那再來改黃光參數 01/15 16:31
18F：→ liliihana:感謝SKY大大解惑!! 01/16 12:37
19F：推 SkyLark2001:其實前幾位先進的推文都可以解決你的問題而且說不定 01/16 14:48
20F：→ SkyLark2001:還比我建議的方法要快。但我覺得徹底改善讓你的金屬 01/16 14:49
21F：→ SkyLark2001:長在玻璃基板上不怕震洗算是"治本"的方法。你做出來的 01/16 14:50
22F：→ SkyLark2001:device之後可以進一步做其他製程步驟或是直接拿去測試 01/16 14:50
23F：→ SkyLark2001:都會比你當初一震就掉的製程方式還要堅固耐用 01/16 14:51