作者liliihana (花仔*)
看板NEMS
标题[问题] lift-off 问题
时间Fri Jan 11 13:08:35 2013
我想要在载玻片上制作微电极，结构最小尺寸为10um，结构之间的间隙是20um
目前使用光阻AZ1518做完黄光之後，厚度约为1点多um，光罩是胶片光罩
用蒸镀镀上 Ti:70nm，Au:50nm
之後放入丙酮lift-off
lift-off浸泡一天之後，要去除的部分都会变成皱皱的，但是没有脱落
我会用针筒抽丙酮去冲他 (超音波震洗会让结构破裂)
但是最小尺寸的部分还是没办法lift-off成功，
恳请版上有经验的大大分享一下经验
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◆ From: 140.120.106.184
1F：推 Jeffch:why not amine based solvent, like EKC830 or AZ100? 01/11 17:24
2F：推 blueseas:AZ4620丙酮很好去除，马上冲马上掉 01/11 23:03
3F：推 Colula:周期很宽，镀金很薄，AZ4620就可 01/12 11:18
4F：→ SkyLark2001:玻璃虽然不比矽晶圆，但你用Cr or Ti当黏着层，没问题 01/14 18:29
5F：→ SkyLark2001:的话用超音波震洗不会掉／ 01/14 18:30
6F：→ SkyLark2001:所以你问题有二，第一是玻璃基板没洗乾净，第二是黄光 01/14 18:30
7F：→ SkyLark2001:没做好，玻璃基板的黄光其实很难，用矽基板的参数去做 01/14 18:31
8F：→ SkyLark2001:玻璃基板，基本上很难做出来，做得出来的运气都很好 01/14 18:31
9F：推 Jeffch:同意楼上，刚拆封的载玻片其实比想像中来得脏很多。尤其有 01/15 00:59
10F：→ Jeffch:很多有机物残留 01/15 00:59
11F：→ liliihana:除了把载玻片清洗乾净外，黄光的部分还有什麽可以改善的 01/15 11:35
12F：→ liliihana:吗? 谢谢大大分享 01/15 11:35
13F：推 SkyLark2001:黄光是大哉问。玻璃基板的话软烤时间以及曝光量都有可 01/15 16:28
14F：→ SkyLark2001:能要改。我建议你先用丙酮IPA震洗吹乾你的基板。然後 01/15 16:29
15F：→ SkyLark2001:再镀一次。其中准备一片洗乾净但不上黄光的对照。 01/15 16:30
16F：→ SkyLark2001:若不上黄光的那个镀後拿去震洗一到三分钟内不会掉但是 01/15 16:31
17F：→ SkyLark2001:其他有做黄光的会，那再来改黄光参数 01/15 16:31
18F：→ liliihana:感谢SKY大大解惑!! 01/16 12:37
19F：推 SkyLark2001:其实前几位先进的推文都可以解决你的问题而且说不定 01/16 14:48
20F：→ SkyLark2001:还比我建议的方法要快。但我觉得彻底改善让你的金属 01/16 14:49
21F：→ SkyLark2001:长在玻璃基板上不怕震洗算是"治本"的方法。你做出来的 01/16 14:50
22F：→ SkyLark2001:device之後可以进一步做其他制程步骤或是直接拿去测试 01/16 14:50
23F：→ SkyLark2001:都会比你当初一震就掉的制程方式还要坚固耐用 01/16 14:51