作者kangalulu (看個路路~~)
看板NEMS
標題[問題] E beam 鍍鋁問題
時間Mon Dec 24 11:15:41 2012
板上各位學長姐
不好意思最近遇到一個問題
一直無法解決
想請問看看有沒有人遇過類似的經驗
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最近使用E beam 鍍鋁
鍍出來的顏色都偏黃
不是銀灰色
而是有點銅色的感覺
放靶材的的地方是不用放柑鍋的
所以應該不是打到柑鍋(因為是專放鋁的 暫時排除可能是別人放其他靶材)
我鍍的厚度是1500 A
前後兩百速率約 0.1~0.2
中間一千一百速率約 1
功率大概開到三十多 靶材有行成球狀
厚度最後去量測也有2000 A 左右
換了一次靶材 (其他實驗室的)
但是仍然是偏黃
靶材外觀仍然是亮銀色......
一時想不到有什麼可能的因素....
不知道有沒有 有經驗的人可以指導分享 謝謝
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 140.112.46.5
1F：推 nevinyrrals:台大哪台e-gun啊?基本上你的問題有很多種可能原因 12/24 18:08
2F：→ nevinyrrals:真空度多少? 12/24 18:12
3F：→ kangalulu:北微的那台~~真空鍍大概在10^-6 01/03 18:49
4F：→ nevinyrrals:你也太晚回了吧= = 看來應該是你的鍍率太低導致鋁氧化 01/09 17:58
5F：→ s110205:其他材料也會有一樣的情況嗎？ 01/10 10:57