作者kangalulu (看个路路~~)
看板NEMS
标题[问题] E beam 镀铝问题
时间Mon Dec 24 11:15:41 2012
板上各位学长姐
不好意思最近遇到一个问题
一直无法解决
想请问看看有没有人遇过类似的经验
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最近使用E beam 镀铝
镀出来的颜色都偏黄
不是银灰色
而是有点铜色的感觉
放靶材的的地方是不用放柑锅的
所以应该不是打到柑锅(因为是专放铝的 暂时排除可能是别人放其他靶材)
我镀的厚度是1500 A
前後两百速率约 0.1~0.2
中间一千一百速率约 1
功率大概开到三十多 靶材有行成球状
厚度最後去量测也有2000 A 左右
换了一次靶材 (其他实验室的)
但是仍然是偏黄
靶材外观仍然是亮银色......
一时想不到有什麽可能的因素....
不知道有没有 有经验的人可以指导分享 谢谢
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 140.112.46.5
1F：推 nevinyrrals:台大哪台e-gun啊?基本上你的问题有很多种可能原因 12/24 18:08
2F：→ nevinyrrals:真空度多少? 12/24 18:12
3F：→ kangalulu:北微的那台~~真空镀大概在10^-6 01/03 18:49
4F：→ nevinyrrals:你也太晚回了吧= = 看来应该是你的镀率太低导致铝氧化 01/09 17:58
5F：→ s110205:其他材料也会有一样的情况吗？ 01/10 10:57