作者dobb (我應該是快撐夠了吧)
看板NEMS
標題[問題] PDMS etching
時間Mon Dec 10 12:59:36 2012
最近需要蝕刻PDMS，查詢paper發現可以參考下列文章:
http://onlinelibrary.wiley.com/doi/10.1002/1521-4095
Topographical Micropatterning
of Poly(dimethylsiloxane) Using Laminar Flows
of Liquids in Capillaries
已經購買TBAF: tetrabutylammonium fluoride
與準備購買NMP:N-Methylpyrrolidinone
進行測試，如果大家有使用過這個配方，可以分享下經驗嗎?例如蝕刻後粗糙度，
感謝。
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 140.118.199.174
1F：推 oax:推 12/10 13:47
2F：推 oax:同問 12/14 10:16