作者dobb (我应该是快撑够了吧)
看板NEMS
标题[问题] PDMS etching
时间Mon Dec 10 12:59:36 2012
最近需要蚀刻PDMS，查询paper发现可以参考下列文章:
http://onlinelibrary.wiley.com/doi/10.1002/1521-4095
Topographical Micropatterning
of Poly(dimethylsiloxane) Using Laminar Flows
of Liquids in Capillaries
已经购买TBAF: tetrabutylammonium fluoride
与准备购买NMP:N-Methylpyrrolidinone
进行测试，如果大家有使用过这个配方，可以分享下经验吗?例如蚀刻後粗糙度，
感谢。
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 140.118.199.174
1F：推 oax:推 12/10 13:47
2F：推 oax:同问 12/14 10:16