作者bb0303 (ZZZ)
看板NEMS
標題[問題] 負光阻問題
時間Thu Nov 8 15:35:06 2012
各位好
因為光罩上圖形已經定為要使用負光阻來做 (被照到的圖案要留著)
然而學校內只提供正光阻
製程上是分別鍍上 Cr/Au/Ni 後再把光阻去除
之前有聽說lift-off 使用負光阻較佳...所以畫光罩圖形就做成要使用負光阻
(實際上正光阻也可以啊囧，一個多月前的小弟還懵懂無知...現在也沒多好啦)
小弟也沒有學長可以帶 很多事情都自己摸索
想請問有經驗的板友、學長們 (我應該沒辦法可以改變必須要用負光阻的事實了吧?)
那我要使用何種負光阻比較好，便宜可用就好 (實驗室很窮阿)
然而要跟哪家廠商購買呢?
感謝回答~!!!
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 140.117.160.142
1F：推 nevinyrrals:我都用正光阻lift-off耶...沒出過啥事啊 11/08 16:40
因為當時老師有說過正光阻與負光阻的特性，然而聽到負光阻因為...所以Lift-off
會比較好，所以當時製作光罩的時後是以負光阻的角度去想，等到我現在真正要做
實驗的時候才知道使用正光阻就好了啊!!!(不過以完美的想法來說負光阻的確比較好吧?!)
這大概是沒學長帶的悲哀了吧
2F：→ nevinyrrals:再畫一張光罩就好啦 膠片光罩一片500而已 11/08 16:56
3F：→ nevinyrrals:老實說 以學校等級的設備很難弄出甚麼完美的東西= = 11/08 16:58
可是我不是膠片...是請交大代工的...
4F：→ nevinyrrals:你線寬大概多少 11/08 20:16
最小是5um
5F：推 nevinyrrals:那你找一下負光阻的datasheet 旋塗之後厚度約1 micron 11/08 20:57
6F：→ nevinyrrals:的負光阻應該比較符合你的需求 11/08 20:58
7F：→ nevinyrrals:除非你金屬層要鍍到接近1 micron 11/08 21:00
8F：→ nevinyrrals:可以考慮看看這支SU-8 GM1040 11/08 21:11
感謝您!!!!!!
9F：推 Jinuse:GM1040底部要有COAT東西不然會不好拔掉 11/08 22:53
我不是很了解你的意思@@
10F：推 pttresident:AZ5214E 可以當正或負光阻使用；負光阻是因為有倒梯角 11/09 00:03
11F：→ pttresident:的側邊形狀，對lift-off製程來說，你的金屬圖案邊緣可 11/09 00:04
12F：→ pttresident:能會比較好一點 11/09 00:04
13F：推 pttresident:第一次經過光罩的曝光且曝後烤，(1)直接顯影→正光阻 11/09 00:10
14F：→ pttresident:(2)不直接顯影，而再曝光一次(但不需光罩的空曝)→才 11/09 00:11
15F：→ pttresident:顯影→負光阻 11/09 00:11
ok了解，可以順便問顯影劑是買哪款的嗎
16F：推 pttresident:一般顯影是用AZ300 11/09 00:15
感謝您!!!
18F：推 pttresident:你這個光罩應該也可以繼續用正光阻做，只是變成要蝕刻 11/09 00:21
19F：→ pttresident:Cr/Au/Ni 乾蝕刻或溼蝕刻 11/09 00:21
先把Cr/Au/Ni 先鍍上去 再顯影、蝕刻 !!!
我明天再跟老師討論看看! 我不確定光阻是否耐酸 @@
20F：推 sky008888:請問鍍金屬厚度多少?如果不是很厚,AZ5214E可以反轉成負 11/10 22:26
21F：→ sky008888:光阻,塗布光阻厚度2um左右應該很好做鍍金 11/10 22:28
感謝回答阿!!!討論結果是...重作光罩!!比較省錢...
因為買其他光阻和顯影液絕對比重作還貴 囧
※ 編輯: bb0303 來自: 140.117.160.142 (11/11 19:34)
22F：推 Colula:AZ 5214也可以用TMAH系列的如MF-351 or 319 11/15 01:33
23F：推 tony32100:用正光阻,然後反轉,一樣可以做得很漂亮,參數要抓一下 07/30 11:41