作者bb0303 (ZZZ)
看板NEMS
标题[问题] 负光阻问题
时间Thu Nov 8 15:35:06 2012
各位好
因为光罩上图形已经定为要使用负光阻来做 (被照到的图案要留着)
然而学校内只提供正光阻
制程上是分别镀上 Cr/Au/Ni 後再把光阻去除
之前有听说lift-off 使用负光阻较佳...所以画光罩图形就做成要使用负光阻
(实际上正光阻也可以啊囧，一个多月前的小弟还懵懂无知...现在也没多好啦)
小弟也没有学长可以带 很多事情都自己摸索
想请问有经验的板友、学长们 (我应该没办法可以改变必须要用负光阻的事实了吧?)
那我要使用何种负光阻比较好，便宜可用就好 (实验室很穷阿)
然而要跟哪家厂商购买呢?
感谢回答~!!!
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 140.117.160.142
1F：推 nevinyrrals:我都用正光阻lift-off耶...没出过啥事啊 11/08 16:40
因为当时老师有说过正光阻与负光阻的特性，然而听到负光阻因为...所以Lift-off
会比较好，所以当时制作光罩的时後是以负光阻的角度去想，等到我现在真正要做
实验的时候才知道使用正光阻就好了啊!!!(不过以完美的想法来说负光阻的确比较好吧?!)
这大概是没学长带的悲哀了吧
2F：→ nevinyrrals:再画一张光罩就好啦 胶片光罩一片500而已 11/08 16:56
3F：→ nevinyrrals:老实说 以学校等级的设备很难弄出甚麽完美的东西= = 11/08 16:58
可是我不是胶片...是请交大代工的...
4F：→ nevinyrrals:你线宽大概多少 11/08 20:16
最小是5um
5F：推 nevinyrrals:那你找一下负光阻的datasheet 旋涂之後厚度约1 micron 11/08 20:57
6F：→ nevinyrrals:的负光阻应该比较符合你的需求 11/08 20:58
7F：→ nevinyrrals:除非你金属层要镀到接近1 micron 11/08 21:00
8F：→ nevinyrrals:可以考虑看看这支SU-8 GM1040 11/08 21:11
感谢您!!!!!!
9F：推 Jinuse:GM1040底部要有COAT东西不然会不好拔掉 11/08 22:53
我不是很了解你的意思@@
10F：推 pttresident:AZ5214E 可以当正或负光阻使用；负光阻是因为有倒梯角 11/09 00:03
11F：→ pttresident:的侧边形状，对lift-off制程来说，你的金属图案边缘可 11/09 00:04
12F：→ pttresident:能会比较好一点 11/09 00:04
13F：推 pttresident:第一次经过光罩的曝光且曝後烤，(1)直接显影→正光阻 11/09 00:10
14F：→ pttresident:(2)不直接显影，而再曝光一次(但不需光罩的空曝)→才 11/09 00:11
15F：→ pttresident:显影→负光阻 11/09 00:11
ok了解，可以顺便问显影剂是买哪款的吗
16F：推 pttresident:一般显影是用AZ300 11/09 00:15
感谢您!!!
18F：推 pttresident:你这个光罩应该也可以继续用正光阻做，只是变成要蚀刻 11/09 00:21
19F：→ pttresident:Cr/Au/Ni 乾蚀刻或湿蚀刻 11/09 00:21
先把Cr/Au/Ni 先镀上去 再显影、蚀刻 !!!
我明天再跟老师讨论看看! 我不确定光阻是否耐酸 @@
20F：推 sky008888:请问镀金属厚度多少?如果不是很厚,AZ5214E可以反转成负 11/10 22:26
21F：→ sky008888:光阻,涂布光阻厚度2um左右应该很好做镀金 11/10 22:28
感谢回答阿!!!讨论结果是...重作光罩!!比较省钱...
因为买其他光阻和显影液绝对比重作还贵 囧
※ 编辑: bb0303 来自: 140.117.160.142 (11/11 19:34)
22F：推 Colula:AZ 5214也可以用TMAH系列的如MF-351 or 319 11/15 01:33
23F：推 tony32100:用正光阻,然後反转,一样可以做得很漂亮,参数要抓一下 07/30 11:41