作者lrsangah01 (看破世界 世界是黑暗的)
看板NEMS
標題[問題] ITO濕蝕刻
時間Mon Oct 8 16:51:12 2012
最近需要做這件事，我需要把ITO薄膜做出粗糙度，
像是大陸桂林那種石灰岩地形，一根一根的，
但是濕蝕刻的方是越簡單越好，不要碰黃光，
請問有推薦的碩論有實驗步驟可以參考嗎?
現在有點無頭蒼蠅，不知如何是好，
咪聽也快開天窗了。
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◆ From: 140.125.31.215
1F：→ panzerfausty:濕蝕刻不清楚,倒是可以去借一下H2O plasma(microwave 10/22 21:32
2F：→ panzerfausty:2.4GHz)~就一般stripping用的H2O plasma,效果強大,只 10/22 21:34
3F：→ panzerfausty:是要小心,時間不能長,打久就不是桂林,是下龍灣了! 10/22 21:35