作者lrsangah01 (看破世界 世界是黑暗的)
看板NEMS
标题[问题] ITO湿蚀刻
时间Mon Oct 8 16:51:12 2012
最近需要做这件事，我需要把ITO薄膜做出粗糙度，
像是大陆桂林那种石灰岩地形，一根一根的，
但是湿蚀刻的方是越简单越好，不要碰黄光，
请问有推荐的硕论有实验步骤可以参考吗?
现在有点无头苍蝇，不知如何是好，
咪听也快开天窗了。
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◆ From: 140.125.31.215
1F：→ panzerfausty:湿蚀刻不清楚,倒是可以去借一下H2O plasma(microwave 10/22 21:32
2F：→ panzerfausty:2.4GHz)~就一般stripping用的H2O plasma,效果强大,只 10/22 21:34
3F：→ panzerfausty:是要小心,时间不能长,打久就不是桂林,是下龙湾了! 10/22 21:35