作者questing (question)
看板NEMS
標題[問題] 大家都用甚麼lift-off比較好的配方嗎??
時間Sun Sep 2 12:38:59 2012
大家好~~
自己是跑製程, 對lift-off metal覺得有難以控制的感覺...有時好lift,有時不好...
我是用PMMA 950, 大約400nm厚,...E-beam litho
metal大概都~100nm左右
再不使用超音波振條件下....
怎樣才lift 的perfect阿 @@
謝謝大家
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