作者questing (question)
看板NEMS
标题[问题] 大家都用甚麽lift-off比较好的配方吗??
时间Sun Sep 2 12:38:59 2012
大家好~~
自己是跑制程, 对lift-off metal觉得有难以控制的感觉...有时好lift,有时不好...
我是用PMMA 950, 大约400nm厚,...E-beam litho
metal大概都~100nm左右
再不使用超音波振条件下....
怎样才lift 的perfect阿 @@
谢谢大家
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