作者foolphen (楓兒)
看板NEMS
標題[問題] PMMA RIE參數
時間Sun Aug 26 10:36:20 2012
各位好
目前使用奈米壓印 再壓印光阻TU2-120下有先鋪一層PMMA
要當之後鍍金屬的mask
現在遇到的問題是
因為PMMA和TU2-120都是可以用O2蝕刻 所以PMMA RIE後的pattern都不清楚
我想請教各位先進 有沒有蝕刻PMMA更好的參數?(流量.帕數.瓦數...)
謝謝!!!
※ 編輯: foolphen 來自: 140.112.231.181 (08/26 10:37)