作者foolphen (枫儿)
看板NEMS
标题[问题] PMMA RIE参数
时间Sun Aug 26 10:36:20 2012
各位好
目前使用奈米压印 再压印光阻TU2-120下有先铺一层PMMA
要当之後镀金属的mask
现在遇到的问题是
因为PMMA和TU2-120都是可以用O2蚀刻 所以PMMA RIE後的pattern都不清楚
我想请教各位先进 有没有蚀刻PMMA更好的参数?(流量.帕数.瓦数...)
谢谢!!!
※ 编辑: foolphen 来自: 140.112.231.181 (08/26 10:37)