作者ghosthell (小豪)
看板NEMS
標題[問題] SU8 2100 底部顯影不全
時間Sat Jul 28 12:40:14 2012
如題
我使用SU8 2100
高度約莫1mm 線寬約莫0.15mm
顯影時候在OM看來
圖型的最下層總是有黑色殘留物
這應該是顯不乾淨(?)
我爬過文了 這也有可能是劑量過高
或者軟烤時間太久
顯不乾淨的有人說要使用超音波震盪
但是我的結構非常脆弱 震盪會脫落
請問有人在顯影時候採取靜置的方法(怕脫落)
且是做很厚的SU8製程的嗎?
沖IPA已經沒有白白的光阻流出了
這是代表已經顯好了?
那所以需要調低劑量嗎?
請問各位大大幫忙..
困擾好幾天了阿~~
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1F：推 quaintness:OM看線寬0.15um?! 07/28 14:51
※ 編輯: ghosthell 來自: 140.110.206.188 (07/28 17:07)
2F：→ ghosthell:抱歉打錯XD 07/28 17:07