作者ghosthell (小豪)
看板NEMS
标题[问题] SU8 2100 底部显影不全
时间Sat Jul 28 12:40:14 2012
如题
我使用SU8 2100
高度约莫1mm 线宽约莫0.15mm
显影时候在OM看来
图型的最下层总是有黑色残留物
这应该是显不乾净(?)
我爬过文了 这也有可能是剂量过高
或者软烤时间太久
显不乾净的有人说要使用超音波震荡
但是我的结构非常脆弱 震荡会脱落
请问有人在显影时候采取静置的方法(怕脱落)
且是做很厚的SU8制程的吗?
冲IPA已经没有白白的光阻流出了
这是代表已经显好了?
那所以需要调低剂量吗?
请问各位大大帮忙..
困扰好几天了阿~~
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 140.114.82.250
1F：推 quaintness:OM看线宽0.15um?! 07/28 14:51
※ 编辑: ghosthell 来自: 140.110.206.188 (07/28 17:07)
2F：→ ghosthell:抱歉打错XD 07/28 17:07