作者ghosthell (小豪)
看板NEMS
標題[問題] 顯影後表面白色沉澱
時間Thu Jun 28 22:46:44 2012
如題
我是使用su8 2100光阻
我的基板是無氧銅
在我顯影完的時候
總是會有一層白色沉澱物在我的表面上
這可能會影響到我後續的電鑄動作
請問有人碰過這種情況?
且成功解決的嗎?
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 114.43.204.179
1F：推 blueseas:顯影未完全...顯影到一半換新的試試看 06/29 14:07
2F：推 jam46:我也覺得可能是沒顯完...有時懶的繼續在那裡搖的話，我會直 06/30 01:22
3F：→ jam46:接夾起來沖丙酮->異丙醇->水，馬上顯乾淨～ (我用SU-8 2050) 06/30 01:24
4F：→ jam46:聽起來很瘋狂，但SU-8結購還挺堅固的，正光阻就不能這樣惡搞 06/30 01:25
5F：→ jam46:了...丙酮沖下去，應該就清潔溜溜了 XDD 06/30 01:26
6F：→ ghosthell:感謝各位 有可能是氮氣槍噴的時候固著在表面上嗎? 06/30 13:40
7F：推 jam46:氮氣來源如果沒有過濾器的話，有可能會有雜質混在氣體裡，可 07/01 02:00
8F：→ jam46:試試看用旋乾的 (沒有旋乾機的話，可用光阻塗佈機 + 高轉速) 07/01 02:02
9F：→ ghosthell:感謝樓上 我試試看!! 07/01 16:24