作者ghosthell (小豪)
看板NEMS
标题[问题] 显影後表面白色沉淀
时间Thu Jun 28 22:46:44 2012
如题
我是使用su8 2100光阻
我的基板是无氧铜
在我显影完的时候
总是会有一层白色沉淀物在我的表面上
这可能会影响到我後续的电铸动作
请问有人碰过这种情况?
且成功解决的吗?
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◆ From: 114.43.204.179
1F：推 blueseas:显影未完全...显影到一半换新的试试看 06/29 14:07
2F：推 jam46:我也觉得可能是没显完...有时懒的继续在那里摇的话，我会直 06/30 01:22
3F：→ jam46:接夹起来冲丙酮->异丙醇->水，马上显乾净～ (我用SU-8 2050) 06/30 01:24
4F：→ jam46:听起来很疯狂，但SU-8结购还挺坚固的，正光阻就不能这样恶搞 06/30 01:25
5F：→ jam46:了...丙酮冲下去，应该就清洁溜溜了 XDD 06/30 01:26
6F：→ ghosthell:感谢各位 有可能是氮气枪喷的时候固着在表面上吗? 06/30 13:40
7F：推 jam46:氮气来源如果没有过滤器的话，有可能会有杂质混在气体里，可 07/01 02:00
8F：→ jam46:试试看用旋乾的 (没有旋乾机的话，可用光阻涂布机 + 高转速) 07/01 02:02
9F：→ ghosthell:感谢楼上 我试试看!! 07/01 16:24