作者seetheblack (野心無限大 我是拿破崙)
看板NEMS
標題[問題] AZ4620 SPR220
時間Sun Jun 24 02:23:51 2012
想請問大家有沒有人用過
AZ4620和SPR220 lift off金屬成功的例子
最小線寬是40um
我是使用spr220在大片的Silicon晶圓破片有成功
但是在1cm*1cm的切片上就很容易
在泡丙酮的時候浮起來 完全脫離
spr220
spin 500 10s 1500 30s 4500 45s
大概是5-7um
曝光13秒 用北微的EVG
顯影大概 快一分鐘
軟烤1152度 90s
不知道是不是太厚 不好lift off
或者是晶片沒有去邊的關係
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 114.41.130.220
1F：推 paullai:軟烤溫度太高？ 06/29 16:00
2F：推 sky008888:軟烤溫度是不是寫錯了?1152C? 07/16 10:39
3F：推 Colula:AZ 4620轉到剩下3.5 um, 烤90C 5min 超好lift off... 07/28 01:47