作者seetheblack (野心无限大 我是拿破仑)
看板NEMS
标题[问题] AZ4620 SPR220
时间Sun Jun 24 02:23:51 2012
想请问大家有没有人用过
AZ4620和SPR220 lift off金属成功的例子
最小线宽是40um
我是使用spr220在大片的Silicon晶圆破片有成功
但是在1cm*1cm的切片上就很容易
在泡丙酮的时候浮起来 完全脱离
spr220
spin 500 10s 1500 30s 4500 45s
大概是5-7um
曝光13秒 用北微的EVG
显影大概 快一分钟
软烤1152度 90s
不知道是不是太厚 不好lift off
或者是晶片没有去边的关系
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 114.41.130.220
1F：推 paullai:软烤温度太高？ 06/29 16:00
2F：推 sky008888:软烤温度是不是写错了?1152C? 07/16 10:39
3F：推 Colula:AZ 4620转到剩下3.5 um, 烤90C 5min 超好lift off... 07/28 01:47