作者ckris1945 ()
看板NEMS
標題Re: [問題] 請問薄PDMS怎麼脫模?
時間Mon Apr 9 16:01:35 2012
感謝各位的意見，目前我算是能把PDMS很小心的撕下來了
只是又有一個問題：那麼薄的PDMS很像保鮮膜，會自己皺起來...
其實我做薄PDMS的用意之一是後續要以RIE在上面打孔
太厚的話RIE要打很久，光阻不容易擋
或是有RIE以外的方法能在PDMS上特定位置打出直徑80μm左右的孔嗎？雷射？
謝謝
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 140.124.32.127
1F：推 Jeffch:如果只是要吃穿整片WAFER這種厚度的話光阻還是可以擋的 04/10 03:03
2F：→ ckris1945:AZ4620旋塗7μm 可以擋吃百μ深的RIE嗎? 04/10 15:53
3F：推 SkyLark2001:要非等向性蝕刻，需要Deep RIE, 一般來說DRIE中的選擇 04/10 16:25
4F：→ SkyLark2001:比可以到達60:1, 1 microns的光阻可以吃到60um的Si 04/10 16:27
5F：→ SkyLark2001:7um的AZ就可以吃到近420um深的Silicon 04/10 16:28
6F：→ SkyLark2001:喔抱歉原來你要的是吃PDMS? 04/10 16:29
7F：→ ckris1945:嗯，我是要吃PDMS 04/10 18:09
8F：推 s75287:吃出來一定很醜..... 04/13 14:26