作者ckris1945 ()
看板NEMS
标题Re: [问题] 请问薄PDMS怎麽脱模?
时间Mon Apr 9 16:01:35 2012
感谢各位的意见，目前我算是能把PDMS很小心的撕下来了
只是又有一个问题：那麽薄的PDMS很像保鲜膜，会自己皱起来...
其实我做薄PDMS的用意之一是後续要以RIE在上面打孔
太厚的话RIE要打很久，光阻不容易挡
或是有RIE以外的方法能在PDMS上特定位置打出直径80μm左右的孔吗？雷射？
谢谢
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◆ From: 140.124.32.127
1F：推 Jeffch:如果只是要吃穿整片WAFER这种厚度的话光阻还是可以挡的 04/10 03:03
2F：→ ckris1945:AZ4620旋涂7μm 可以挡吃百μ深的RIE吗? 04/10 15:53
3F：推 SkyLark2001:要非等向性蚀刻，需要Deep RIE, 一般来说DRIE中的选择 04/10 16:25
4F：→ SkyLark2001:比可以到达60:1, 1 microns的光阻可以吃到60um的Si 04/10 16:27
5F：→ SkyLark2001:7um的AZ就可以吃到近420um深的Silicon 04/10 16:28
6F：→ SkyLark2001:喔抱歉原来你要的是吃PDMS? 04/10 16:29
7F：→ ckris1945:嗯，我是要吃PDMS 04/10 18:09
8F：推 s75287:吃出来一定很丑..... 04/13 14:26