作者bubblefree (那些年)
看板NEMS
標題Re: [問題] 請問薄PDMS怎麼脫模?
時間Thu Mar 8 23:58:27 2012
※ 引述《ckris1945 ()》之銘言：
: 我目前想做一層PDMS來封裝結構，因為後續還要蝕刻PDMS所以不希望太厚
: 目前想法是在Si或SiO2基板上旋塗PDMS，然後取下。
: 但是直接旋塗、固化PDMS會黏死......
: 爬文有人提到(TRIDECAFLUORO-1,1,2,2-TETRAHYDROOCTYL)TRICHLOROSILANE
: 這東西，但是我查不到這東西的正式名稱，不知道怎麼買？
: 我目前是用paper查到的SDS或白金當抗沾黏層，
: PDMS似乎沒有黏的那麼死了，但用鑷子撕PDMS一下子就破掉了，
: 根本沒有辦法整片取下。有paper可以脫膜6μm厚的PDMS，不過他沒寫方法
: 我的大概2Xμm都撕不了整片，請問各位有什麼好的PDMS脫模作法或建議嗎？
: 謝謝。
SiO2比較好脫膜，不管是在何基板，先塗一薄(洗碗精+水)，就好脫膜了
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