作者bubblefree (那些年)
看板NEMS
标题Re: [问题] 请问薄PDMS怎麽脱模?
时间Thu Mar 8 23:58:27 2012
※ 引述《ckris1945 ()》之铭言：
: 我目前想做一层PDMS来封装结构，因为後续还要蚀刻PDMS所以不希望太厚
: 目前想法是在Si或SiO2基板上旋涂PDMS，然後取下。
: 但是直接旋涂、固化PDMS会黏死......
: 爬文有人提到(TRIDECAFLUORO-1,1,2,2-TETRAHYDROOCTYL)TRICHLOROSILANE
: 这东西，但是我查不到这东西的正式名称，不知道怎麽买？
: 我目前是用paper查到的SDS或白金当抗沾黏层，
: PDMS似乎没有黏的那麽死了，但用镊子撕PDMS一下子就破掉了，
: 根本没有办法整片取下。有paper可以脱膜6μm厚的PDMS，不过他没写方法
: 我的大概2Xμm都撕不了整片，请问各位有什麽好的PDMS脱模作法或建议吗？
: 谢谢。
SiO2比较好脱膜，不管是在何基板，先涂一薄(洗碗精+水)，就好脱膜了
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