作者ckris1945 ()
看板NEMS
標題[問題] 請問薄PDMS怎麼脫模?
時間Thu Mar 8 21:52:43 2012
我目前想做一層PDMS來封裝結構，因為後續還要蝕刻PDMS所以不希望太厚
目前想法是在Si或SiO2基板上旋塗PDMS，然後取下。
但是直接旋塗、固化PDMS會黏死......
爬文有人提到(TRIDECAFLUORO-1,1,2,2-TETRAHYDROOCTYL)TRICHLOROSILANE
這東西，但是我查不到這東西的正式名稱，不知道怎麼買？
我目前是用paper查到的SDS或白金當抗沾黏層，
PDMS似乎沒有黏的那麼死了，但用鑷子撕PDMS一下子就破掉了，
根本沒有辦法整片取下。有paper可以脫膜6μm厚的PDMS，不過他沒寫方法
我的大概2Xμm都撕不了整片，請問各位有什麼好的PDMS脫模作法或建議嗎？
謝謝。
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 140.124.32.127
1F：→ TreeMan:我們是用Dichlorodimethylsilane (sigma 440272) 也是 03/08 23:09
2F：→ TreeMan:可以，另外要拿薄的PDMS，可以塗佈完薄層後，再黏一塊厚 03/08 23:11
3F：→ TreeMan:的到邊緣上(用氧電漿或PDMS黏)，然後去撕厚的，進而帶起 03/08 23:13
4F：→ TreeMan:薄的 03/08 23:13
5F：推 jam46:怎麼買喔？我都是跟廠商講 CAS number 他們就找的到了 03/10 01:27
6F：→ jam46:原po 文中提到的那個 CAS number: 78560-45-9 03/10 01:30
7F：→ jam46:一樓的那個 CAS number: 75-78-5 03/10 01:32
8F：推 Jeffch:可以試試看中間一層犧牲層，之後融掉該層PDMS應會浮在液面 04/10 03:06
9F：→ Jeffch:上，之後再拿藥用的subtrate去"盛"他 04/10 03:07
10F：→ Jeffch: 要 04/10 03:08