作者ckris1945 ()
看板NEMS
标题[问题] 请问薄PDMS怎麽脱模?
时间Thu Mar 8 21:52:43 2012
我目前想做一层PDMS来封装结构，因为後续还要蚀刻PDMS所以不希望太厚
目前想法是在Si或SiO2基板上旋涂PDMS，然後取下。
但是直接旋涂、固化PDMS会黏死......
爬文有人提到(TRIDECAFLUORO-1,1,2,2-TETRAHYDROOCTYL)TRICHLOROSILANE
这东西，但是我查不到这东西的正式名称，不知道怎麽买？
我目前是用paper查到的SDS或白金当抗沾黏层，
PDMS似乎没有黏的那麽死了，但用镊子撕PDMS一下子就破掉了，
根本没有办法整片取下。有paper可以脱膜6μm厚的PDMS，不过他没写方法
我的大概2Xμm都撕不了整片，请问各位有什麽好的PDMS脱模作法或建议吗？
谢谢。
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 140.124.32.127
1F：→ TreeMan:我们是用Dichlorodimethylsilane (sigma 440272) 也是 03/08 23:09
2F：→ TreeMan:可以，另外要拿薄的PDMS，可以涂布完薄层後，再黏一块厚 03/08 23:11
3F：→ TreeMan:的到边缘上(用氧电浆或PDMS黏)，然後去撕厚的，进而带起 03/08 23:13
4F：→ TreeMan:薄的 03/08 23:13
5F：推 jam46:怎麽买喔？我都是跟厂商讲 CAS number 他们就找的到了 03/10 01:27
6F：→ jam46:原po 文中提到的那个 CAS number: 78560-45-9 03/10 01:30
7F：→ jam46:一楼的那个 CAS number: 75-78-5 03/10 01:32
8F：推 Jeffch:可以试试看中间一层牺牲层，之後融掉该层PDMS应会浮在液面 04/10 03:06
9F：→ Jeffch:上，之後再拿药用的subtrate去"盛"他 04/10 03:07
10F：→ Jeffch: 要 04/10 03:08