作者ghosthell (小豪)
看板NEMS
標題[問題] 相轉移光罩
時間Thu Jan 12 18:59:21 2012
您好各位前輩
我最近想試著將我的論文題目
盡量阻擋在以x-ray為曝光光源的狀態
但是我發現我的最小線寬不足以在uv-350nm之下解析良好
所以我想先試著在光罩上修改
聽說相轉移光罩可以提高解析度?
我想看看這方面的書
請問除了網路上找paper外有甚麼實體書有提到關於這方面的嗎?
謝謝各位
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