作者ghosthell (小豪)
看板NEMS
标题[问题] 相转移光罩
时间Thu Jan 12 18:59:21 2012
您好各位前辈
我最近想试着将我的论文题目
尽量阻挡在以x-ray为曝光光源的状态
但是我发现我的最小线宽不足以在uv-350nm之下解析良好
所以我想先试着在光罩上修改
听说相转移光罩可以提高解析度?
我想看看这方面的书
请问除了网路上找paper外有甚麽实体书有提到关於这方面的吗?
谢谢各位
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