※ 引述《alich (阿力取)》之銘言： : 不好意思> < : 有製程上的問題想請教各位學長姊， : 是關於在玻璃基板上做SU-8的pattern，SU-8在玻璃上的貼附性的問題 : 今天去試做了，想用SU-8 2005做一個厚度5um的結構， : 結果顯影出來好像SU-8剝離了? 整個pattern變的爛爛的QQ : 想請問學長姊可能是哪裡出了錯，或是有什麼辦法改善這個問題呢? : 我的process如下: : 去水烘烤120度 10min : spin coating 500rpm 10sec : 4000rpm 30sec : soft bake 95度 2min : 曝光40秒 : PEB 95度 2min : 顯影1min : 謝謝你們:) 如果所有製程參數都對了 (包括做在玻璃表面功率要 1.5倍) 那唯一的問題就是你的pattern structure太小了 structure太小時候在做薄膜SU-8會出現附著很差的現象 在develop的時候　SU-8都還沒被吃光pattern就開始脫落了 (structure太大　在做厚膜SU-8時候　會出現應力集中而導致的剝離 可以用ramp bake方式解決大部分情況) 使用HMDS效果有限　 Microchem有出一款適合坐在玻璃表面的厚膜光阻 KMPR 我不確定在你實驗下是否有用 我的做法是　先做一層非常薄的SU-8在玻璃表面當作附著層 再開始pattern　Su-8對SU-8本身附著能力夠強所以可行 但是就是不知道你是否能接受玻璃表面多一層SU-8在那裡 如果不行　你剩下KMPR可以踹了.... -- 某天我接到ㄧ通從未看過的電話...0932xxxxxx 陌生人:你在哪裡(心中OS:好像是某同學) 我:研究室阿 衝殺洨 陌生人:麻煩到我班上 找xxx 我:喔...好....(遭...是老闆....Orz) --

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