作者s75287 (弹珠汽水)
看板NEMS
标题Re: [问题] SU-8 on glass
时间Tue Dec 13 02:55:22 2011
※ 引述《alich (阿力取)》之铭言：
: 不好意思> <
: 有制程上的问题想请教各位学长姊，
: 是关於在玻璃基板上做SU-8的pattern，SU-8在玻璃上的贴附性的问题
: 今天去试做了，想用SU-8 2005做一个厚度5um的结构，
: 结果显影出来好像SU-8剥离了? 整个pattern变的烂烂的QQ
: 想请问学长姊可能是哪里出了错，或是有什麽办法改善这个问题呢?
: 我的process如下:
: 去水烘烤120度 10min
: spin coating 500rpm 10sec
: 4000rpm 30sec
: soft bake 95度 2min
: 曝光40秒
: PEB 95度 2min
: 显影1min
: 谢谢你们:)
如果所有制程参数都对了 (包括做在玻璃表面功率要 1.5倍)
那唯一的问题就是你的pattern structure太小了
structure太小时候在做薄膜SU-8会出现附着很差的现象
在develop的时候 SU-8都还没被吃光pattern就开始脱落了
(structure太大 在做厚膜SU-8时候 会出现应力集中而导致的剥离
可以用ramp bake方式解决大部分情况)
使用HMDS效果有限
Microchem有出一款适合坐在玻璃表面的厚膜光阻 KMPR
我不确定在你实验下是否有用
我的做法是 先做一层非常薄的SU-8在玻璃表面当作附着层
再开始pattern Su-8对SU-8本身附着能力够强所以可行
但是就是不知道你是否能接受玻璃表面多一层SU-8在那里
如果不行 你剩下KMPR可以踹了....
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某天我接到ㄧ通从未看过的电话...0932xxxxxx
陌生人:你在哪里(心中OS:好像是某同学)
我:研究室阿 冲杀洨
陌生人:麻烦到我班上 找xxx
我:喔...好....(遭...是老板....Orz)
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 128.97.11.107
1F：→ honna:SU8的另一款光阻(GM系列)有建议制作前先用O2 plasma处理 12/13 10:04
2F：→ honna:可以试试看~ 12/13 10:04
3F：推 Jeffch:O2 plasma使用前後会有很大差别.... 12/13 14:42
4F：推 DynaxBill:签名档很囧 ... 跟老师不够熟吗XD 01/08 10:39